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【巩华特油资讯】扩散泵用扩散泵油时怎么减少污物污染

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扩散泵用油一般用扩散泵油,KS-3扩散泵油是巩华特油专注生产研究产品之一。扩散泵用扩散泵油产生污物是由于扩散泵油蒸气,怎么改进?1、改进喷嘴挡油结构,采用憎油材料的冷挡油帽。2、在泵入口

关键字:【巩华特油资讯】扩散泵用扩散泵油时怎么减少污物污染

扩散泵用油一般用扩散泵油,KS-3扩散泵油是巩华特油专注生产研究产品之一。

扩散泵用扩散泵油产生污物是由于扩散泵油蒸气,怎么改进?

1、  改进喷嘴挡油结构,采用憎油材料的冷挡油帽。
2、  在泵入口系统中加液氮冷阱、吸附阱或升华阱。
3、  采用分馏型扩散泵,用好的扩散泵油。
4、  改进系统操作工艺,尽量减少扩散泵在过载区的抽气时间;避免在泵开始加热和关闭加热期间接通高真空端。
5、  接通高真空阀之前,对扩散泵进行轻度烘烤除气;在启动和停机过程中用气体冲洗扩散泵。
 
机械泵油蒸气
1、  在P﹥15Pa时进行粗抽与扩散泵抽气切换。
2、  采用蒸气压低的机械泵油,并在粗抽管路中设置吸附挡油阱。
3、  采用气体冲洗,在机械泵入口设置电磁压差放气阀。
系统中的密封材料、有机物和润滑油等
1、超高真空系统采用金属密封结构。
2、系统预先真空烘烤。
3、采用无油干式润滑剂。
 
水蒸气
1、  系统烘烤除气。

2、  扩散泵入口加冷阱。



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